- 屋内専用
- RoHS対応
主な用途
- ウエハ表面処理の温度確認等
- シリコンウエハをチャンバー内で処理する際のウエハ表面温度の分布確認
- ウエハ以外にもご利用いただけます。
※最小受注LOT:20枚
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・ポリイミド表面フィルムを標準装備。
・剥離紙にはPETフィルム使用。
・表面フィルム裏面印刷(印刷インク飛散防止)。
・120℃以下のベース材は薄型アルミシートを使用(9MC:40~80)
・120℃以上のベース材はポリイミドフィルムを使用(9MC:120~200)
【精度】
170℃以下±2℃
180℃以下±3℃
品番号 | 発色温度(℃) | 発色色調 |
---|---|---|
9MC40 | 40・45・50・55・60・65・70・75・80 | 淡黄→黒 |
9MC80 | 80・85・90・95・100・105・110・115・120 | 淡黄→黒 |
9MC120 | 120・125・130・135・140・145・150・155・160 | 淡黄→黒 |
9MC160 | 160・165・170・175・180・185・190・195・200 | 淡黄→黒 |
9MC200 | 200・210・220・230・240・250・260・270・280 | 淡黄→黒 |
【ご使用の注意点】
※①温度上昇速度・②使用保持温度等の影響を受けやすいため、ご利用の際何らかの疑問がございましたらご一報ください。
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