メニュー

半導体用示温ラベル(不可逆)

9温表示タイプ9MC

9MC

  • 屋内専用
  • RoHS対応

主な用途

  • ウエハ表面処理の温度確認等
  • シリコンウエハをチャンバー内で処理する際のウエハ表面温度の分布確認
  • ウエハ以外にもご利用いただけます。
    ※最小受注LOT:20枚

製品特長Product features

1. Wafer表面の温度感知に最適な仕様

・ポリイミド表面フィルムを標準装備。
・剥離紙にはPETフィルム使用。
・表面フィルム裏面印刷(印刷インク飛散防止)。
・120℃以下のベース材は薄型アルミシートを使用(9MC:40~80)
・120℃以上のベース材はポリイミドフィルムを使用(9MC:120~200)

2. 高温耐久性にすぐれているため、40℃~280℃迄の広い範囲で使用可能

【精度】
170℃以下±2℃
180℃以下±3℃

3. プラズマの影響を受けにくい、表面が平らな構造

4. RoHS対応

発色前後比較画像Comparison image

発色前後比較画像

品番・発色詳細Product number & color

  • ワックス型シャイニング紙
  • 化学変化タイプ
品番号発色温度(℃)発色色調
9MC40 40・45・50・55・60・65・70・75・80 淡黄→黒
9MC80 80・85・90・95・100・105・110・115・120 淡黄→黒
9MC120 120・125・130・135・140・145・150・155・160 淡黄→黒
9MC160 160・165・170・175・180・185・190・195・200 淡黄→黒
9MC200 200・210・220・230・240・250・260・270・280 淡黄→黒

 

【ご使用の注意点】
※①温度上昇速度・②使用保持温度等の影響を受けやすいため、ご利用の際何らかの疑問がございましたらご一報ください。

示温ラベル(不可逆)一覧へ戻る

Copyright© アセイ工業株式会社All Rights Reserved. login