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半導体用示温ラベル(不可逆)

3温表示タイプ3MC

3MC

  • 屋内専用
  • RoHS対応

主な用途

  • ウエハ表面処理の温度確認等
  • シリコンウエハをチャンバー内で処理する際のウエハ表面温度の分布確認
  • ウエハ以外にもご利用いただけます。
    ※最小受注LOT:20枚

製品特長Product features

1. Wafer表面の温度感知に最適な仕様

・ポリイミド表面フィルムを標準装備。
・剥離紙にはPETフィルム使用。
・表面フィルム裏面印刷(印刷インク飛散防止)。
・120℃以下のベース材は薄型アルミシートを使用(3MC:40~100)
・120℃以上のベース材はポリイミドフィルムを使用(3MC:120~260)

2. 高温耐久性にすぐれているため、40℃~280℃迄の広い範囲で使用可能

【精度】
170℃以下±2℃
180℃以下±3℃

3. プラズマの影響を受けにくい、表面が平らな構造

4. RoHS対応

発色前後比較画像Comparison image

発色前後比較画像

 

※3MC40-100のベース材は薄型アルミシートを仕様しています。
※3MC120-260-100のベース材はポリイミドフィルムを使用しています。

品番・発色詳細Product number & color

  • ワックス型シャイニング紙
  • 化学変化タイプ
品番号発色温度(℃)発色色調
3MC40 40・45・50 淡黄→黒
3MC55 55・60・65 淡黄→黒
3MC70 70・75・80 淡黄→黒
3MC85 85・90・95 淡黄→黒
3MC100 100・105・110 淡黄→黒
3MC120 120・125・130 淡黄→黒
3MC135 135・140・145 淡黄→黒
3MC150 150・155・160 淡黄→黒
3MC165 165・170・175 淡黄→黒
3MC180 180・185・190 淡黄→黒
3MC195 195・200・210 淡黄→黒
3MC200 200・210・220 淡黄→黒
3MC230 230・240・250 淡黄→黒
3MC260 260・270・280 淡黄→黒

 

【ご使用の注意点】
※①温度上昇速度・②使用保持温度等の影響を受けやすいため、ご利用の際何らかの疑問がございましたらご一報ください。

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