- 屋内専用
- RoHS対応
主な用途
- ウエハ表面処理の温度確認等
- シリコンウエハをチャンバー内で処理する際のウエハ表面温度の分布確認
- ウエハ以外にもご利用いただけます。
※最小受注LOT:20枚
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・ポリイミド表面フィルムを標準装備。
・剥離紙にはPETフィルム使用。
・表面フィルム裏面印刷(印刷インク飛散防止)。
・120℃以下のベース材は薄型アルミシートを使用(3MC:40~100)
・120℃以上のベース材はポリイミドフィルムを使用(3MC:120~260)
【精度】
170℃以下±2℃
180℃以下±3℃
※3MC40-100のベース材は薄型アルミシートを仕様しています。
※3MC120-260-100のベース材はポリイミドフィルムを使用しています。
品番号 | 発色温度(℃) | 発色色調 |
---|---|---|
3MC40 | 40・45・50 | 淡黄→黒 |
3MC55 | 55・60・65 | 淡黄→黒 |
3MC70 | 70・75・80 | 淡黄→黒 |
3MC85 | 85・90・95 | 淡黄→黒 |
3MC100 | 100・105・110 | 淡黄→黒 |
3MC120 | 120・125・130 | 淡黄→黒 |
3MC135 | 135・140・145 | 淡黄→黒 |
3MC150 | 150・155・160 | 淡黄→黒 |
3MC165 | 165・170・175 | 淡黄→黒 |
3MC180 | 180・185・190 | 淡黄→黒 |
3MC195 | 195・200・210 | 淡黄→黒 |
3MC200 | 200・210・220 | 淡黄→黒 |
3MC230 | 230・240・250 | 淡黄→黒 |
3MC260 | 260・270・280 | 淡黄→黒 |
【ご使用の注意点】
※①温度上昇速度・②使用保持温度等の影響を受けやすいため、ご利用の際何らかの疑問がございましたらご一報ください。
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