半導体用示温ラベル(不可逆)
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半導体用示温ラベル(不可逆)9MC

半導体用サーモカラーセンサーは、プラズマの影響を受けにくい温度感知シールです。ウエハ表面に貼り付けます。高温耐久性に優れているため、40℃から280℃までの広い範囲を管理が可能です。当社オリジナルの半導体用サーモカラーセンサーは、表面をポリイミドフィルムでカバーし、裏面印刷で印刷インキの飛散を防止しています。
※ウエハ以外にもご使用いただけます

半導体用示温ラベル、サーモカラーセンサー 9MC(不可逆)
9温表示タイプ(ポリイミドフィルム利用)
*屋内専用 icon_rohs

製品詳細

●主な用途

  • ウエハ表面処理の温度確認 等
  • シリコンウエハをチャンバー内で処理する際のウエハ表面温度の分布確認
  • ウエハ以外にもご利用いただけます。

●特長

(1)高温耐久性にすぐれているため、40℃~280℃迄の広い範囲で使用可能
【精度】

  • 170℃以下:±2℃
  • 180℃以上:±3℃

(2)プラズマの影響を受けにくい、表面が平らな構造
(3)表面をポリイミドフィルムでカバーし、裏面印刷により印刷インクの飛散を防止
(4)Rohs対応


品 番 号 発色温度(℃) 発色色調
9MC40 40・45・50
55・60・65
70・75・80
淡黄→黒
9MC80 80・90・95
100・105・110
115・120・125
9MC120 120・125・130
135・140・145
150・155・160
淡黄→黒
9MC160 160・165・170
175・180・185
190・195・200
9MC200 200・210・220
230・240・250
260・270・280