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半導体用示温ラベル(不可逆)3MC

3MC
*屋内専用 icon_rohs

製品詳細

●主な用途

  • ウエハ表面処理の温度確認 等
  • シリコンウエハをチャンバー内で処理する際のウエハ表面温度の分布確認
  • ウエハ以外にもご利用いただけます。

●特長

(1)高温耐久性にすぐれているため、40℃~280℃迄の広い範囲で使用可能
【精度】

  • 170℃以下:±2℃
  • 180℃以上:±3℃

(2)プラズマの影響を受けにくい、表面が平らな構造
(3)表面をポリイミドフィルムでカバーし、裏面印刷により印刷インクの飛散を防止
(4)Rohs対応


 

注)3MC40-100のベース材は薄型アルミシートを仕様しています。
注)3MC120-260-100のベース材はポリイミドフィルムを使用しています。

品 番 号 発色温度(℃) 発色色調
3MC40 40・45・50 淡黄→黒
3MC55 55・60・65
3MC70 70・75・80
3MC85 85・90・95
3MC100 100・105・110
3MC120 120・125・130 淡黄→黒
3MC135 135・140・145
3MC150 150・155・160
3MC165 165・170・175
3MC180 180・185・190
3MC195 195・200・210
3MC200 200・210・220
3MC230 230・240・250
3MC260 260・270・280

 

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